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Programme de la conférence

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Récapitulatif du jour

Session

Session Posters n°3
Salle: FOYER

Présentation 59

P3.C26 - 407 - PROPRIETES THERMO-OPTIQUES DU NITRURE DE SILICIUM ENRICHI EN SILICIUM

A. JAYANTHA¹, A. ANDRIEUX¹, I. GALLET¹, J. LE POULIQUEN², J. AROCAS¹, C. LEVALLOIS², J.-C. WEEBER¹, C. FINOT¹, K. HAMMANI¹

1: Université Bourgogne Europe, CNRS, Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne ICB, UMR 6303, 21000 Dijon, France; 2: Université de Rennes, CNRS, Institut FOTON - UMR 6082, F-35000 Rennes, France

L’article présente les indices de réfraction et les coefficients thermo-optiques de trois couches de nitrure de silicium enrichi en silicium déposées par différentes méthodes. L’évolution du coefficient thermo-optique, obtenu par ellipsométrie, dépend de la teneur en silicium.