Programme de la conférence
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Récapitulatif du jour |
| Session | |
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Session Posters n°3 Salle: FOYER | |
| Présentation 20 | |
P3.C02 - 193 - INTEGRATION OF ER-DOPED AL2O3 WAVEGUIDES FABRICATED BY PULSED LASER DEPOSITION FOR ON-CHIP PHOTONICS APPLICATIONS 1: Institut Lumière Matière (ILM), Lyon, France; 2: Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), France; 3: Royal Melbourne Institute of Technology (RMIT), Melbourne, Australia Rare-earth doped materials are promising for on-chip optical gain applications but the devices integration is complex. In this work we used pulsed laser deposition combine to lift-off processing to fabricated waveguides and to integrate gain region without etching on top of CMOS compatible integrated circuits. | |

